Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE
FilmTek™ 6000標(biāo)準(zhǔn)桿數(shù)-SE先進(jìn)的多模薄膜計量系統(tǒng)在1x nm設(shè)計節(jié)點(diǎn)和更高的位置為廣泛的薄膜層提供生產(chǎn)驗證的薄膜厚度、折射率和應(yīng)力測量監(jiān)測。該系統(tǒng)能夠在新一代集成電路的生產(chǎn)過程中實現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制,提高器件產(chǎn)量,并支持下一代節(jié)點(diǎn)技術(shù)的開發(fā)。
更新日期:2024-12-02訪問量:2760廠商性質(zhì):代理商
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